STRATURI SUBȚIRI SEMICONDUCTOARE PREPARATE ÎN SISTEME DE PULVERIZARE CU MAGNETRON (DC): TEORIE vs EXPERIMENT

Igor NAROLSCHI, Alexandr CLIUCANOV, Corneliu ROTARU, Marin RUSU, Sergiu VATAVU Universitatea de Stat din Moldova

Rezumat

Caracteristica curent-tensiune a sistemului de pulverizare cu magnetron (DC) depinde în formă pătratică de trei parametri, unul dintre care este egal cu potențialul de aprindere a descărcării gazului, pe când ceilalți doi parametri se determină experimental din caracteristica curent-tensiune pentru valori mici sau mari ale tensiunii aplicate sistemului. Cuvinte-cheie: sistem de pulverizare cu magnetron, caracteristica curent-tensiune, descărcare în gaz.