ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ НАНОКОМПОЗИТНЫЕ МАТЕРИАЛЫ ДЛЯ ДАТЧИКОВ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ

Петр ГАШИН, Владимир ПРИЛЕПОВ*, Дорин СПОЯЛЭ** НИЛ физики полупроводников *НИЛ фототермопластической записи **НИЛ сверхпроводимости и магнетизма

Abstract

In the presented paper the electro-physical properties of nanocomposite thin films on the basis of V, Cr and their oxides are investigated. The possibility to use nanocomposite materials in sensor electronics is considered.